【新要闻】国产首台精密掩膜版 FMM 工艺设备现已出货

发布时间：2023-01-07 23:04:35 文章来源：IT之家

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1月7日消息，晶洲装备官方宣布，国产首台精密掩模版(Fine Metal Mask,简称FMM)INVAR卷材工艺设备已于1月6日通过厂内验收，发运客户端即将投入生产。

这是晶洲装备自主研发生产的国内首台INVAR卷材工艺设备。该设备集成脱脂、酸洗、减薄、清洗等多种单元，具备将基材厚度管理至20μm以内水平，从而打破国外企业的垄断，解决我国FMM工艺装备“卡脖子“的问题。

查询发现，FMM是显示产业中的重要因素，是OLED蒸镀工艺中的核心零部件，其主要作用是生产过程中沉积RGB有机物质形成像素。鉴于蒸镀工艺中对FMM材料热膨胀性能的高要求，材质常用因瓦合金，简称为INVAR。

据介绍，目前FMM供应一直被起步更早的日韩等海外制造商垄断，且INVAR原材料受限于原产地贸易协议，中国大陆的FMM制造企业很难获得25μm以下厚度基材，而高PPI OLED屏需要更精巧的孔，FMM制造商需要获得更薄的Invar原材，Invar原材已然成为我国OLED显示行业发展的限制因素。

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